1.Сарлавҳаи ташхиси лазерӣ ва марҳилаи сканеркунии намуна муттаҳид карда шудааст, сохтор хеле устувор аст ва зидди дахолат қавӣ аст
2.Precision дастгоҳи мавқеъи зонд, лазерӣ тасҳеҳи ҳамоҳангсозии ҷойи хеле осон аст
3. Намунаи гардонандаи як меҳвар ба таври худкор ба зонд амудӣ наздик мешавад, то нӯги сӯзан ба скани намуна перпендикуляр бошад
4.Усули ѓизодињии интеллектуалии сӯзани муайянкунии автоматии сафолӣ бо фишори мотор идорашавандаи пьезоэлектрикӣ зонд ва намунаро муҳофизат мекунад
5. Ҷойгиркунии худкори оптикӣ, ниёз ба тамаркуз, мушоҳидаи вақти воқеӣ ва ҷойгиркунии минтақаи сканеркунии намунаи зонд
6.Spring боздоштани усули shockproof, оддӣ ва амалӣ, таъсири shockproof хуб
7.Металл қуттии soundproof, ки дарунсохти-дақиқ баланд ва сенсори намӣ, мониторинги вақти воқеӣ муҳити корӣ
8.Интегратсияшудаи сканери муҳаррири корбари ислоҳи ғайрихаттӣ, тавсифи нанометр ва дақиқии андозагирӣ аз 98% беҳтар
Реҷаи кор | ҳолати ламс, ҳолати ламс |
Ҳолати ихтиёрӣ | Фриксия/Қувваи паҳлуӣ, Амплитуда/Фаза, Қувваи магнитӣ/Электростатикӣ |
каҷи спектри қувва | Каҷи қувваи FZ, каҷи RMS-Z |
Диапазони сканкунии XY | 20*20ум, ихтиёрӣ 50*50ум, 100*100ум |
Z диапазони скан | 2,5ум, ихтиёрӣ 5ум, 10ум |
Ҳалли скан | Уфуқӣ 0,2 нм, амудӣ 0,05 нм |
Андозаи намуна | Φ≤90мм, H≤20мм |
Намунаи саёҳати саҳна | 15*15мм |
Мушоҳидаи оптикӣ | 4X линзаи объективии оптикӣ / ҳалли 2.5um |
Суръати скан | 0,6Гц-30Гц |
Кунҷи скан | 0-360° |
Муҳити амалиётӣ | Системаи оператсионии Windows XP/7/8/10 |
Интерфейси коммуникатсионӣ | USB2.0/3.0 |
Тарҳрезии зарба фурўбаранда | Баҳор боздошташуда / Қуттии муҳофизаткунандаи металлӣ |